基于最大熵双阈值图像分割算法的芯片缺陷检测方法

本发明公开了基于最大熵双阈值图像分割算法的芯片缺陷检测方法，待分割图像进行预处理,利用改进粒子群算法，搜索更新粒子的最优位置和全局最优位置,将参数的最优位置赋值给最大熵双阈值图像分割算法，利用最大熵双阈值图像分割算法对芯片缺陷图像进行分割，提取出缺陷区域,根据分割结果评估粒子群算法的性能，判断分割结果是否满足停止条件，满足则结束算法；否则，返回粒子位置计算这一步，继续迭代。最后，输出缺陷图像分割结果,通过以上步骤，该方法克服了传统最大熵双阈值图像分割算法容易陷入局部最优的问题，并加快了缺陷图像的分割速度。相比现有的图像分割算法，本发明提出的方法能够实现高速和高精度的芯片缺陷图像分割提取需求。