裸晶圆表面缺陷的检测方法、装置、终端设备及存储介质

本发明涉及裸晶圆表面缺陷的检测方法、装置、终端设备以及存储介质，该检测方法包括以下步骤：S1.在将晶圆卡匣上料至上料装置内，由上料装置定位晶圆卡匣位置，并通过晶圆机器人自动拾取晶圆卡匣内的晶圆放置在寻边器上；S2.寻边器自动获取晶圆位置及信息，并通过侧路布置的晶圆侧边检测光学头检测晶圆边缘的2D缺陷；S3.将晶圆转送至XYR晶圆平台上，调正晶圆的位置，并对晶圆进行正面和背面的2D检测以及正面的3D特征扫描；S4.通过晶圆机器人自动拾取XYR晶圆平台上的晶圆送回晶圆卡匣内，并将步骤S2和步骤S3中各个检测结果输出并整合形成最后的Mapping图，上述检测方法通过一个机台完成多种类型的检测以提高检测效率。