用于混合式接合缺陷检测的多向照明

一种用于接合前检查系统的光学检查系统，包括其上放置待检查的样品的平台、传感器、光学组件以及控制器，每个光学组件包括具有将样品视场（FOV）引导到样品的一部分的光学元件的光学头、被配置为以第一倾斜角照射样品的第一光源、被配置为以第二倾斜角照射样品的第二光源、用于将由第一光源产生的样品的所述部分的第一光学图像和由第二光源产生的样品的所述部分的第二光学图像聚焦到传感器的区段上的聚焦透镜，所述控制器被配置为组合由每个光学组件产生的第一光学图像和第二光学图像，并且产生样品上的点缺陷图。