一种压阻式柔性压力传感器及其制造方法和应用

本发明公开了一种压阻式柔性压力传感器及其制造方法和应用，属于传感器技术领域。压阻式柔性压力传感器由上柔性保护膜、柔性多级结构传感基片、电极和下柔性保护膜封装而成；所述电极包括左电极和右电极，左电极和右电极错开粘贴于下柔性保护膜并面向柔性多级结构传感基片的微结构面，上柔性保护膜粘贴在柔性多级结构传感基片上。所述柔性多级结构传感基片的表面具有纳米蠕虫状褶皱结构导电层。柔性压力传感器的制备包括下述步骤：制备柔性聚合物薄片；制备柔性多级结构传感基片；封装成压阻式柔性压力传感器。本发明制备的压阻式柔性压力传感器具有较高的灵敏度和较低的检测限，并且本发明成本低廉、制备简单、适合大规模生产。