重叠结构梳齿电容式Z轴加速度敏感芯片及其制造方法

本发明公开了重叠结构梳齿电容式Z轴加速度敏感芯片及其制造方法，属于MEMS传感器技术领域。该敏感芯片由梳齿电容层和弹性梁结构层重叠放置构成，二者之间通过氧化层键合在一起。除阻尼系数小的优势外，还具有以下三方面优点：一是梳齿电容与弹性梁重叠放置的结构无需额外占用芯片面积，利于微小型化的同时还可降低芯片成本；二是梳齿电容与弹性梁重叠放置的结构，避免了平面放置时弹性梁占用质量块周围分布梳齿的空间，大幅增加了梳齿数量，有效增大了梳齿结构的电容量；三是重叠结构使弹性梁可以在质量块周围对称分布，显著降低了X轴和Y轴方向的交叉耦合影响。