摘要
本发明公开了一种基于激光超声SAFT技术定位各向异性材料内部缺陷的方法,具体包括以下步骤:将待测样品放置在激光扫描区域,并以一定的步长设置探测点和激发点,脉冲激光器在激发点处激发超声波,激光探测装置则在探测点处接收相应的超声信号,重复上述工作,直至激光探测装置将激光器在所有激发点激发出的超声信号全部接收。之后,对探测得到的时域超声信号进行分析,再利用针对各向异性材料而开发的SAFT算法进行反演成像,并通过加窗处理滤除噪声信号,提高反演成像的准确度和成像质量,从而实现对各向异性材料内部缺陷的检测定位。
技术关键词
材料内部缺陷
激光超声
激光探测装置
超声信号
脉冲激光器
滤除噪声信号
信号到达时间
成像
超声波
单晶硅
算法
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