一种芯片污渍检测方法、装置、计算机设备及存储介质

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一种芯片污渍检测方法、装置、计算机设备及存储介质
申请号:CN202410751760
申请日期:2024-06-12
公开号:CN118794961B
公开日期:2025-05-09
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种芯片污渍检测方法、装置、计算机设备及存储介质,属于芯片外观检测技术领域。针对现有技术中存在的芯片表面微小污渍难以检测存在漏检的问题,本发明通过设定数字图像重构距离,输入全息图像与数字图像重构距离,计算得到频谱图,对频谱图选频处理得到全息重构图,分离全息重构图得到重构强度图和包裹相位图,对包裹相位图处理得到解包裹相位图,通过重构强度图判断待检测芯片上是否存在污渍,若待检测芯片上存在污渍,通过解包裹相位图判断污渍为内表面污渍或外表面污渍,从而实现快速准确地检测出芯片内表面或外表面微小污渍,有效提高芯片污渍检测效率和检测精度。
技术关键词
包裹相位 污渍检测方法 重构 检测芯片 传递位置信息 待测芯片 污渍检测装置 全息图像 芯片外观检测 计算机设备 强度 可读存储介质 轮廓 数据 处理器 输入模块 标记 玻璃
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