摘要
本发明公开了一种芯片污渍检测方法、装置、计算机设备及存储介质,属于芯片外观检测技术领域。针对现有技术中存在的芯片表面微小污渍难以检测存在漏检的问题,本发明通过设定数字图像重构距离,输入全息图像与数字图像重构距离,计算得到频谱图,对频谱图选频处理得到全息重构图,分离全息重构图得到重构强度图和包裹相位图,对包裹相位图处理得到解包裹相位图,通过重构强度图判断待检测芯片上是否存在污渍,若待检测芯片上存在污渍,通过解包裹相位图判断污渍为内表面污渍或外表面污渍,从而实现快速准确地检测出芯片内表面或外表面微小污渍,有效提高芯片污渍检测效率和检测精度。
技术关键词
包裹相位
污渍检测方法
重构
检测芯片
传递位置信息
待测芯片
污渍检测装置
全息图像
芯片外观检测
计算机设备
强度
可读存储介质
轮廓
数据
处理器
输入模块
标记
玻璃
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多时间尺度
网络重构方法
高比例新能源
燃料发电机
重构模型
芯片表面缺陷检测
模块
多尺度特征
检测芯片
图片
雷达图像数据
样本
深度神经网络模型
存储计算机可执行指令
扩充模块
斜视成像方法
合成孔径雷达
位置校正
线性调频信号
二维快速傅里叶变换