一种特殊叉指结构触觉传感器

本发明属于MEMS传感器件制造领域，具体涉及一种特殊叉指结构触觉传感器，为开发具有高分辨率、易于定位的触觉传感器，本发明采用双层压阻敏感层之间夹叉指电极层的薄膜结构，能够较大的范围内，实现了对应力应变的位置锁定与类型区分。其中叉指电极中p‑Silicon的加入，有效的避免了电极的短路现象，提升了传感器的使用寿命。