高可靠性的连接元件及应用、功率模块结构及其制造方法

本发明涉及半导体装置技术领域，具体涉及高可靠性的连接元件及应用、功率模块结构及其制造方法；具体连接元件包括以金属片作为中间支撑层，以及至少预置在所述中间支撑层两个表面的软钎焊料基焊料粘结层；在功率模块层叠组装过程中，将本发明连接元件作为形成粘接各功能层的连接层；具体制造方法是每层叠一层功能层即层叠一层本发明连接元件，进行热压合后即得到相关结构的功率模块结构；本发明的连接元件能够有效增强功率模块元器件连接的长期可靠性，杜绝现有技术中出现的倾斜、互连界面分层、空洞、溢锡、爬锡、焊层不均、厚度尺寸不均一、双侧轮廓不平行等问题。