摘要
本发明提供了一种涉及光电集成模块和光通信技术领域的3D光电芯粒集成的光通信模块,包括:无源芯片、有源芯片、电芯片、激光器、光纤列阵以及封装载板,光纤列阵与无源芯片实现光耦合封装,无源芯片和有源芯片贴片于封装载板,电芯片连接有源芯片,激光器贴片于无源芯片上,且电芯片和激光器分别与封装载板进行电气互连。本发明通过有源和无源芯片的优化解耦封装,降低了大规模量产的成本,通过匹配的波导设计实现低损耗芯片间耦合,同时使得有源器件和无源器件可采用最合适的材料平台加工,以达到最优的性能,从而实现高密度、低成本、低损耗、高可靠性的光电集成模块。
技术关键词
光通信模块
芯片
电气互连
封装载板
电极结构
激光器
光电集成模块
光波导
光纤
光通信装置
传输线结构
贴片
波分复用器
光通信技术
基底
通孔
耦合器件
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