金属微半球谐振子的静电激励模拟回路扫频方法及系统

本申请提供了一种金属微半球谐振子的静电激励模拟回路扫频方法及系统，其中，该系统包括：频率响应分析仪，用于输出模拟激励信号，其中，所述模拟激励信号是频率按照线性规律变化的电压信号；扫频测试电路，用于将所述模拟激励信号施加到所述金属微半球谐振子的驱动电极上，通过对比和监测所述金属微半球谐振子的响应，得到所述金属微半球谐振子的频率特性。本申请解决了现有技术存在电气方面的信号串扰从而影响最终测量结果的准确性的技术问题。