一种全自动批量制备碳纳米管薄膜的装置及方法

本发明涉及一种全自动批量制备碳纳米管薄膜的装置及方法，属于碳纳米管薄膜制备技术领域，所述装置包括：机械臂传输系统、晶圆存储仓、多个薄膜制备仓和晶圆后处理仓；其中，机械臂传输系统包括机械臂和机械臂承载平台，机械臂设置在机械臂承载平台上；晶圆存储仓、多个薄膜制备仓和晶圆后处理仓分别设置在机械臂承载平台的对应边上；各个薄膜制备仓中均设置液槽、提拉模块和流体注入模块。本申请提供的装置及方法，可以实现并行薄膜制备工作，在短时间内完成大量的薄膜制备任务，从而大大提高生产效率；可以根据实际需求灵活地调整资源分配，不同的制备仓可以配置不同的设备和技术，以满足生产多种类型或规格的薄膜，从而适应不同的生产需求。