一种碳化硅外延车间工艺布局优化与评价方法、系统及设备

本发明公开了一种碳化硅外延车间工艺布局优化与评价方法、系统及设备，方法包括：收集车间工艺流程；收集每个工艺加工单元需求的最小面积；获取可使用面积；获取每个工艺加工单元的工艺节拍数据、各工艺加工单元之间的物流频次数据和各工艺加工单元上下料缓存容量；收集布局约束条件；确认车间的物流动线；生成多版布局方案；收集物料搬运设备参数；建立仿真模块库，并分别建立多版工艺布局方案对应的布局仿真模型，并输出每版工艺布局方案的仿真结果；设定布局优化指标，建立多目标评价体系；根据多目标评价体系对每版工艺布局方案的仿真结果进行评估，选择最优布局方案。本发明符合实际车间生产情况，具有极高的指导性和实际应用价值。