一种薄膜厚度在线测量方法

本发明公开了一种薄膜厚度在线测量方法，包括以下步骤：对薄膜厚度测量装置进行校准；对待测样品的基底和样品的材料种类进行选择；将待测样品的基底放在样品放置台上，检测基底的反射亮光场光谱和反射暗光场光谱；将附着有待测薄膜的基底放置在样品放置台上，将检测到的反射光谱减去基底的反射亮光场光谱和基底的反射暗光场光谱之差，得到薄膜的反射光谱；完成薄膜的反射光谱的采集后，微型计算机自动对薄膜的反射光谱进行分析，输出薄膜厚度的测量结果；改变样品放置台的位置，实现对薄膜厚度的多点测量。本发明的方法，采用光谱仪采集薄膜反射光谱，通过薄膜厚度测量网络模型可实现薄膜厚度的在线测量，测量速度快、结果准确、成本低。