一种双吸嘴固晶工艺

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一种双吸嘴固晶工艺
申请号:CN202410778512
申请日期:2024-06-17
公开号:CN118431094A
公开日期:2024-08-02
类型:发明专利
摘要
本发明公开了芯片制造技术领域内的一种双吸嘴固晶工艺,步骤1,初始化设置;步骤2,取胶和取晶;步骤3,一次点胶;步骤4,一次固晶;步骤5,二次取胶和取晶;步骤6,二次点胶;步骤7,二次固晶;步骤8,循环步骤2‑7。吸嘴一处于取晶位上,吸嘴二处于固晶位上,点胶头一处于取胶位上,点胶头二处于过渡位,取晶位的正下方为晶片输送机构,固晶位上则设置了基岛,取胶位的正下方则设置了胶液装置,当直驱电机旋转360度时,即一个工艺周期,共完成两次取胶、点胶、取晶和固晶,通过两个吸嘴交替工作,控制吸嘴交替频率与行程范围,进而实现连续生产,成倍提高固晶效率。
技术关键词
直驱电机 真空泵 工作周期 点胶头 抽真空 直线 压力 行程 圆心 芯片 频率
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