摘要
本发明涉及一种芯片高温快速降温散热装置,其中,包括:Y轴移动机构设置在转塔机座上,Y轴移动机构具有一移动模块,X轴移动机构连接Y轴移动机构的移动模块,Y轴移动机构长向的方向作为Y轴方向;真空散热平台机构设置在X轴移动机构上;多个芯片排列放置在真空散热平台机构上;降温机构对应真空散热平台机构的芯片设置,以对芯片进行散热降温;X轴移动机构包括框架主体,框架主体的下部与Y轴移动机构的移动模块连接,框架主体的上部沿着X轴方向设置滑轨,移动板设置在滑轨上;X轴伺服电机安装在框架主体,X轴伺服电机通过移动组件与移动板连接。本发明能够适用高速平台的的移动速度,提高取料效率。
技术关键词
降温散热装置
Y轴移动机构
X轴移动机构
平台机构
框架主体
风淋机构
X轴伺服电机
芯片
链条结构
降温机构
气流导向板
凸轮随动器
抽真空设备
电机支撑板
吸嘴机构
电机安装板
钢球
系统为您推荐了相关专利信息
自动焊接装置
框架主体
电池箱体
预热系统
预热箱体
隔离开关机构箱
调平装置
调平平台
调节平台
小车
玻璃晶圆片
激光打码机
晶圆背面
激光打码器
半导体