摘要
本发明公开了可调式半导体玻璃晶圆背面激光打码机及使用方法,属于激光打码领域。可调式半导体玻璃晶圆背面激光打码机及使用方法,包括壳体,所述壳体的内壁开设为两个腔室,分别为第一腔室和第二腔室,所述第二腔室的内壁左侧安装有存料框一、存料框二,存料框一、存料框二内壁均存放有玻璃晶圆片,所述第二腔室内设有对玻璃晶圆片进行转移的中转机器人;本发明通过中转机器人带动抬臂延伸至存料框一内,通过真空吸盘一对玻璃晶圆片进行吸附,再由中转机器人带动其抽出,控制驱动电机带动U型翻转架进行180度的翻转,再由中转机器人转运至第一腔室内,对玻璃晶圆片的背面进行打码,使用方便。
技术关键词
玻璃晶圆片
激光打码机
晶圆背面
激光打码器
半导体
X轴移动机构
机器人
腔室
机械手底座
机械手臂
输出端
打码机构
真空吸盘
升降气缸
旋转电机
调节组件
控制驱动电机
检测箱
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