一种用于高功耗芯片的射流微通道测试装置

本发明公开了一种用于高功耗芯片的射流微通道测试装置，涉及芯片测试技术领域，包括上盖和与下框，下框与上盖铰接，下框下端安装有测试机构，测试机构上放置有芯片，上盖的下端和上端分别安装有射流微通道机构和压紧机构，射流微通道机构包括测试盖框架，测试盖框架的中心安装有射流微通道，射流微通道包括射流结构，射流结构中安装有隔板，隔板将射流结构分隔有上流腔和下流腔，隔板上设有多个射流孔，上流腔的上端安装有盖板，盖板上安装有与上流腔连通的入口，下流腔的下端安装有微流道底板，微流道底板上分布有多个三角形凸台；本发明能够实现更加高效的散热效率，从而降低高功耗芯片测试时的温度并提高芯片表面的温度均匀性。