摘要
本发明公开了一种基于超连续谱的宽带芯片耦合测试方法,采用集成化光波导,结合色散工程和畴工程,产生超宽带光源,覆盖波长范围可以从可见光到中红外波段。现有的连续光激光器的带宽最多为百nm,很难波长都无法触及,因此芯片测试时常常会面临因为波长范围不够,很多波长点的性能无法测量的问题。本发明中将光源芯片与测量芯片贴合在一起,可以直接得到待测芯片多个倍频程范围内的插入损耗,解决了很多波长激光器无法获得的问题,具有宽带,简便易行的优势。
技术关键词
耦合测试方法
超宽带光源
待测芯片
非线性介质
波长
光谱仪
标定测试方法
锁模激光器
泵浦
刻蚀深度
光波导
可见光
光纤
损耗
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