摘要
根据本公开的示例实施例提供了用于版图优化的方法、设备和介质。该方法包括:获取与目标版图中待修正的目标图形段相对应的目标编码表示,目标编码表示用于表征目标图形段所处的版图环境;基于目标编码表示与修正信息集中的至少一个候选编码表示的匹配度,从至少一个候选编码表示中确定参考编码表示,修正信息集还包括与每个候选编码表示对应的修正量,以指示处于该候选编码表示所表征的版图环境中的图形段所施加的修正;以及基于与参考编码表示对应的参考修正量,确定针对目标图形段的目标修正量。以此方式,可以利用预先获得的修正数据来处理当前的版图,从而节省修正的时间并提升修正效率。
技术关键词
版图图案
版图图形
光学邻近效应修正
特征提取模型
处理单元
电子设备
可读存储介质
成像
存储器
图像
光刻
指令
关系
计算机
数据
处理器
尺寸
系统为您推荐了相关专利信息
语义分割模型
垃圾识别方法
特征提取模块
融合特征
度量
交通安全预警系统
交通安全风险
策略
轨迹
风险预测模型
参数预测系统
盾构机
盾构土仓
智能控制模型
螺旋输送机
预警装置
传感器单元
智能算法
故障诊断功能
电源管理单元
数据交换方法
缓存调度策略
传输特征
信道
数据处理单元