用于版图处理的方法、设备和介质

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用于版图处理的方法、设备和介质
申请号:CN202410791936
申请日期:2024-06-18
公开号:CN118363252B
公开日期:2024-09-24
类型:发明专利
摘要
根据本公开的示例实施例提供了用于版图优化的方法、设备和介质。该方法包括:获取与目标版图中待修正的目标图形段相对应的目标编码表示,目标编码表示用于表征目标图形段所处的版图环境;基于目标编码表示与修正信息集中的至少一个候选编码表示的匹配度,从至少一个候选编码表示中确定参考编码表示,修正信息集还包括与每个候选编码表示对应的修正量,以指示处于该候选编码表示所表征的版图环境中的图形段所施加的修正;以及基于与参考编码表示对应的参考修正量,确定针对目标图形段的目标修正量。以此方式,可以利用预先获得的修正数据来处理当前的版图,从而节省修正的时间并提升修正效率。
技术关键词
版图图案 版图图形 光学邻近效应修正 特征提取模型 处理单元 电子设备 可读存储介质 成像 存储器 图像 光刻 指令 关系 计算机 数据 处理器 尺寸
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