wafer组件的控制方法、wafer组件、固晶机

本申请公开了wafer组件的控制方法、wafer组件、固晶机。该控制方法包括：获取wafer组件的参考位置、参考速度、实时位置和实时速度；根据参考位置和参考速度确定参考加速度，以及根据实时位置和实时速度确定实时加速度；以及根据参考位置和实时位置确定跟踪位置误差，根据参考速度和实时速度确定跟踪速度误差；利用实时速度、参考加速度、跟踪位置误差和跟踪速度误差确定出等效控制律；以及利用跟踪位置误差和跟踪速度误差确定出分数阶滑动值；利用分数阶滑动值、可变增益值确定出切换控制律；结合等效控制律和切换控制律控制wafer组件移动。通过上述方式，解决芯片固晶精度差，定位精度差，电机使用寿命短等问题。