一种半导体芯片老化测试箱

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一种半导体芯片老化测试箱
申请号:CN202410803136
申请日期:2024-06-20
公开号:CN118604579A
公开日期:2024-09-06
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片测试设备领域,提供了一种半导体芯片老化测试箱,包括包围组件及实验组件,包围组件与实验组件间的空间通过隔断件分割成多个实验空间,并通过热循环机构实现热循环连接;通过包围组件与实验组件的抽离式配合方式,能够实现快速的芯片装配及检修进行等,且通过将内部分割为多个相互独立的实验空间,并在相邻实现空间之间实现热循环连接,能够实现实验时的热量双向利用,在进行老化实验时,实现芯片温度环境的正负双向同步扩展,相较于现有技术的单向线性扩展的测试箱,能够有效的加快达到目标实验温度的速度,提升对于能源的利用率,降低能源浪费。
技术关键词
老化测试箱 快装机构 半导体散热片 温控机构 装配机构 热循环机构 散热组 测试半导体芯片 芯片测试设备 弹性卡扣 保温 壳体 数据线缆 制冷制热 薄壁结构 密封窗
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