石墨舟清洗方法及系统

本发明提供了一种石墨舟清洗方法及系统，清洗设备在目标石墨舟到达上舟位置时，从MOM系统获取目标石墨舟的尺寸信息；清洗设备获取尺寸信息对应于夹持装置的目标位置参数，并基于目标位置参数控制搬运机构通过夹持装置抓取目标石墨舟；清洗设备获取尺寸信息对应于清洗腔室的清洗参数；清洗设备控制搬运机构将目标石墨舟搬运至清洗腔室，并基于清洗参数控制清洗腔室清洗目标石墨舟。采用本发明可以降低石墨舟清洗所需的设备成本，同时保证现场石墨舟流转的合理性。