一种晶圆级填充保护方法及一种晶圆级封装器件

AITNT
正文
推荐专利
一种晶圆级填充保护方法及一种晶圆级封装器件
申请号:CN202410820968
申请日期:2024-06-24
公开号:CN118763005A
公开日期:2024-10-11
类型:发明专利
摘要
本发明公开一种晶圆级填充保护方法及一种晶圆级封装器件,该方法在载片上制备载片孔,然后在设置有载片孔的载片上设置键合胶,得到保护工装;使所述保护工装上键合胶的一侧朝向设置有芯片的基片,压合后,从所述载片孔处注入有机填充料;除去所述注入的有机填充料中的气泡,待所述有机填充料固化后,去除所述载片以及键合胶,完成所述晶圆级填充保护。该方法通过载片、键合胶以及载片孔的设置,使其与基片键合,简化了工艺流程,提供了平整的塑封界面,降低了气泡含量,降低了工艺难度和成本,并提高了封装效率。
技术关键词
保护方法 晶圆级封装器件 填充料 基片 工装 气泡 芯片 垫块 压膜 激光 压力 涂覆 界面 工件 溶液 机械
系统为您推荐了相关专利信息
1
一种物品相关信息保护方法、装置、设备、介质及产品
信息保护方法 节点 加密算法 分段 私有链
2
一种基于零阶优化的扩散模型艺术版权保护方法和装置
版权保护方法 样本 图像 协方差矩阵 黑盒模型
3
探针锁紧检测工装及探针电阻测量仪
探针底座 感应组件 检测工装 电阻测量仪 应变片
4
一种用于癫痫相关非电活性神经递质谷氨酸连续监测的微流控-电化学生物传感器
电化学生物传感器 壳聚糖修饰 修饰丝网印刷电极 磷酸盐缓冲液 拉莫三嗪
5
基于人工智能会话隐私保护方法、装置及介质
历史会话 隐私保护方法 加密 列表 终端设备
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号