摘要
本发明公开一种晶圆级填充保护方法及一种晶圆级封装器件,该方法在载片上制备载片孔,然后在设置有载片孔的载片上设置键合胶,得到保护工装;使所述保护工装上键合胶的一侧朝向设置有芯片的基片,压合后,从所述载片孔处注入有机填充料;除去所述注入的有机填充料中的气泡,待所述有机填充料固化后,去除所述载片以及键合胶,完成所述晶圆级填充保护。该方法通过载片、键合胶以及载片孔的设置,使其与基片键合,简化了工艺流程,提供了平整的塑封界面,降低了气泡含量,降低了工艺难度和成本,并提高了封装效率。
技术关键词
保护方法
晶圆级封装器件
填充料
基片
工装
气泡
芯片
垫块
压膜
激光
压力
涂覆
界面
工件
溶液
机械
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