用于微纳材料双向同时力学测试的芯片、微纳材料双向同时力学测试装置及向微纳材料提供双向同时拉伸载荷的方法

本发明公开了用于微纳材料双向同时力学测试的芯片、微纳材料双向同时力学测试装置及向微纳材料提供双向同时拉伸载荷的方法，用于微纳材料双向同时力学测试的芯片包括芯片本体，在芯片本体上设有微纳材料样品位、三角梭、斜梁、支撑梁、对准梁、移动梁及微电极。本发明的芯片能实现待测试样在X方向和Y方向的同时拉伸或压缩，以便于对待测试样进行相关性能的检测，在芯片上设置了微电极，可以灵活的对待测试样在伸缩状态下同步进行电学测试，获得待测试样在不同状态下的电学参数；本发明的微纳材料双向同时力学测试装置，压电驱动件能对待测试样提供连续可控的应变以便于原位同步研究微纳材料的弹性应变和弛豫性能下材料的机械、电学以及热学性能。