一种微机械陀螺小角速度标度因数非线性的校准方法

本发明公开了一种微机械陀螺小角速度标度因数非线性的校准方法，该方法包括在力平衡模式下，对所述陀螺施加低频正弦角速度，自动获得微机械陀螺加力偏转角，根据偏转角，对驱动激励信号和检测力平衡信号进行坐标变换，使陀螺仪质量块的运动轨迹与加力方向一致，实现对微机械陀螺小角速度标度因数非线性的校准。本发明利用转台正反旋转自动测出陀螺内部结构的力偏转角，基于该角度对陀螺静电驱动力进行矩阵旋转补偿，从而消除小角速度时陀螺力平衡测控标度因数的非线性。本发明解决了微机械在力平衡测控模式，没有机械和电学非线性影响的情况下，由于静电加力与陀螺质量块运动方向没有完全一致，而导致的标度因数非线性问题。