一种静电卡盘孔堵塞检测装置及检测方法

本发明公开了一种静电卡盘孔堵塞检测装置及检测方法，属于堵塞检测技术领域，检测方法包括：先记录所述静电卡盘的孔未堵塞情况，在下一定压力的水通过所述静电卡盘的孔后在所述静电卡盘上方的水柱高度，记录好后，启动水泵，按照上述给定的水压给待检测所述静电卡盘的孔通入水，此时，判断水通过待检测所述静电卡盘的孔之后的高度，若水流的高度与未堵塞情况下的水流的高度相等，则判断该待检测所述静电卡盘的孔为为堵塞，若水流无法通过待检测所述静电卡盘的孔，则判断该待检测所述静电卡盘的孔为完全堵塞，若水流能够通过待检测所述静电卡盘的孔，但是水流的高度高于未堵塞情况的水流的高度，则判断该待检测所述静电卡盘的孔为部分堵塞。