芯片封装方法及芯片封装结构

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芯片封装方法及芯片封装结构
申请号:CN202410840782
申请日期:2024-06-27
公开号:CN118380399B
公开日期:2024-09-17
类型:发明专利
摘要
本发明涉及半导体技术领域,具体涉及一种芯片封装方法及芯片封装结构,芯片封装方法用于封装芯片,芯片封装结构包括基板、封装罩、毛细结构、导流部和驱动部,裸片在使用时封装在基板内部,基板具有第一表面,封装罩罩设在第一表面上,且和基板包围形成有负压腔室,毛细结构设置在第一表面上,毛细结构内填充有冷却液,导流部设置在毛细结构上,导流部将负压腔室分隔为第一区域、第二区域和第三区域,第一区域位于裸片的上方,驱动部用于将第三区域内的蒸汽输送到第一区域,以通过增大第一区域内压强的方式,减小裸片两侧的压强差,从而既能够通过冷却液及时吸收裸片运行时所产生的热量,又能够减小裸片两侧的压强差,延长芯片的使用寿命。
技术关键词
芯片封装结构 芯片封装方法 毛细 冷却液 基板 分隔板 导流 压强 负压腔 单向阀 腔室 封装芯片 蒸汽 活塞 气泵 去离子水 光刻 排气 阵列
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