一种支撑弹簧模型的制备方法及一体化干涉仪装置

本发明公开一种支撑弹簧模型的制备方法及一体化干涉仪装置，涉及红外光谱仪技术领域，方法包括：采用遗传算法对基于二阶贝塞尔曲线确定的用于模拟支撑弹簧模型的控制点坐标的多组初始控制点坐标序列进行迭代，确定用于制备一体化干涉仪装置中的支撑弹簧结构的支撑弹簧模型。通过对支撑弹簧模型仿真及迭代，提高了一体化干涉仪装置的光程差，并进一步提高了红外光谱仪的分辨率。干涉仪装置包括器件层、埋氧层及衬底层，反射镜与衬底层一体化设计，不需要反射镜额外安装，保证了光路准确性，进一步提高了对物质结构和成分的分析精度。此外，一体化干涉仪装置为分光镜进行了内凹设计，器件层通过桥式结构一体化连接，保证了整体结构的强壮。