一种多层光学增透膜处理方法

本发明提供一种多层光学增透膜处理方法，包括：获取多个初始多层光学增透膜，其中，每一初始多层光学增透膜通过PECVD进行生长，每一初始多层光学增透膜包括多个第一参数与对应于PECVD生长的第二参数；基于第一参数与第二参数，确定每一初始多层光学增透膜的第三参数；基于每一初始多层光学增透膜的第三参数适应度值，得到多个第一中间多层光学增透膜；根据遗传算法，对多个第一中间多层光学增透膜中的部分第一中间多层光学增透膜进行交叉与变异操作，得到多个第二中间多层光学增透膜；将多个第二中间多层光学增透膜与未经交叉与变异操作的第一中间多层光学增透膜进行多次迭代计算，得到目标多层光学增透膜；对目标多层光学增透膜进行误差监测。