气体流量调节方法及反应装置

本申请提供一种气体流量调节方法及反应装置，反应装置包括腔体、压差检测件及流量调节件，腔体与流量调节件及压差检测件连接，压差检测件用于检测腔体内外的气压差，流量调节件用于根据流量设置值调节腔体的进气流速，气体流量调节方法包括：获取气压差；根据气压差、压差预设值及调节参数计算流量比例系数；根据流量比例系数及流量预设值计算流量设定值；输出流量设定值给流量调节件，并返回获取气压差的步骤。通过本申请提供的气体流量调节方法及反应装置，反应装置可根据腔体内外的气压差实时调整流量调节件的流量设定值，以使腔体内外的气压差维持在氧化退火处理要求的气压差的波动范围内，降低腔体内外气压差的波动对氧化退火处理的影响。