基于非热等离子体放电空间粒子分布的模拟方法

本发明公开了基于非热等离子体放电空间粒子分布的模拟方法，具体包括如下步骤：步骤1，建立动力学模型；步骤2，基于步骤1构建的动力学模型构建流体力学模型；步骤3，计算放电电流；步骤4，基于步骤3的计算结果，对步骤2构建的动力学模型构建流体力学模型进行处理；步骤5，基于步骤4的处理结果建立空间模型；步骤6，基于步骤5建立的空间模型设置边界条件。本发明考虑了电子、正离子、负离子和气体分子之间的电离、吸附和重组，提高了模拟的准确度。