摘要
本发明提供一种利用水溶性有机聚合物PVA向微栅转移二维材料的方法,包括步骤:S1、PVA溶液配制;S2、在硅片上制备待观测样品;S3、通过旋涂法在硅片上制备PVA薄膜;S4、将样品由硅片转移至微栅;S5、得到转移成品。本方法不易损坏样品,适用于少层二维材料、异质结等脆弱或复杂样品的转移,微栅仅与干燥的薄膜接触,因此最大程度降低了损坏微栅的概率,实现将指定样品转移至微栅的指定位置,这使得本方法同样适用于将样品转移至原位芯片。
技术关键词
二维材料
硅片
PVA薄膜
水溶性
机械剥离法
聚合物
透射电子显微镜
专用样品
去离子水
溶液
胶带
成品
异质
滤纸
平铺
原位
气泡
芯片
系统为您推荐了相关专利信息
边缘缺陷检测方法
倒角工艺
局部细节特征
硅片
轮廓特征