一种光子芯片检测机构及检测机

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一种光子芯片检测机构及检测机
申请号:CN202410874690
申请日期:2024-07-02
公开号:CN118770930B
公开日期:2025-07-08
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种光子芯片检测机构及检测机,涉及芯片检测技术领域,还包括移送座,所述移送座安装于检测台的台面上,且移送座内竖直滑动安装有承托板,所述承托板顶部嵌设有芯片放置盘,所述承托板与芯片放置盘之间安装有调节夹具,机架,其固定于检测台顶部,且机架内安装有驱动件和与驱动件单向传动的定位升降架,机架顶部安装有检测头。本发明通过设置移送座来将承托板移送至机架处,当承托板位于定位升降架上并推动定位升降架后,迫使定位升降架与驱动件传动连接,利用驱动件带动定位升降架平缓升起,升起的过程中调节夹具将芯片放置盘和承托盘牢牢固定,避免芯片放置盘晃动松脱,检测头对芯片表面进行检测。
技术关键词
光子芯片 检测机构 调节夹具 检测台 驱动件 调节齿环 检测头 机架 芯片检测技术 凸轮 线性电机 传动齿条 轴杆 滑块 丝杆 导轨 内侧壁 齿轮
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