一种超洁净环境下的晶圆质量检测方法

本发明涉及晶圆检测技术领域，具体为一种超洁净环境下的晶圆质量检测方法，包括：在激光检测台对晶圆表面进行的激光扫描检测，对表面异常的晶圆进行气体冲洗，并再次进行激光扫描检测；当激光检测台检测到晶圆表面存在缺陷时，对晶圆表面进行热辐射加热，通过红外热像仪检测晶圆的具体缺陷；对晶圆的内部进行超声检测，根据超声反射信号判断晶圆是否存在内部缺陷，生成存在内部缺陷晶圆的超声检测图像，通过构建神经网络，提取存在内部缺陷晶圆的缺陷数据；生成晶圆质量检测报告，显示晶圆检测结果。本发明对晶圆表面和外部进行多重检测，在提升检测准确率的同时提升了检测效率并节省了检测时的资源占用。