摘要
本发明提供干燥装置、制造装置、物品的制造方法。期待在对由涂敷装置涂敷了墨的基板进行干燥处理时不降低干燥处理的效率的干燥装置、制造装置。干燥装置的特征在于,具备:送入口,从该送入口送入基板;保持机构,其能够保持所送入的基板并变更高度;干燥机构,其对所送入的基板进行干燥处理;以及送出口,从该送出口送出进行了干燥处理的基板,所述送入口和所述送出口设在高度不同的位置。
技术关键词
干燥装置
涂敷装置
基板
输送机器人
有机EL元件
空穴输送层
入口
干燥机构
焙烧装置
除湿装置
功能材料
清洗室
冷却室
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