摘要
本申请提供一种三维芯片及其制备方法、电子设备,三维芯片包括第一功能层以及与第一功能层三维连接的第二功能层;其中,第一功能层具有M个第一极限曝光区域;第二功能层具有N个第二极限曝光区域;其中,M、N均为大于或等于2的整数。具体的,本申请提供的三维芯片中,第一功能层具有M个第一极限曝光区域,第二功能层具有N个第二极限曝光区域,由于每个极限曝光区域均通过一光刻母版图案化形成,以此,本申请提供的三维芯片的尺寸更大,能够设置更多的功能单元,且第一功能层和第二功能层三维连接在一起,第一功能层和第二功能层的互联高度很低,使得信号传输通道数据延迟降低,极大的提高了数据传输速度,从而有利于提高产品性能。
技术关键词
芯片
半导体层
重布线层
光刻
冗余
电子设备
信号传输通道
导电线
导电柱
线路板
层叠
数据
尺寸
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