摘要
本发明提供了一种抑制翘曲和偏移的封装方法,包括以下步骤:选取一载板;在所述载板上贴合一层胶膜;在所述胶膜表面利用光敏材料制作用于放置芯片的凹槽;将所述芯片放置于所述凹槽中并进行塑封,得到塑封结构;将所述塑封结构上的所述载板及胶膜剥离,得到芯片封装结构。本发明提供的一种抑制翘曲和偏移的封装方法,通过设置一带凹槽的胶膜以放置芯片进行塑封,可以有效降低塑封料和芯片的热膨胀系数失配,从而有效降低晶圆载体晶圆翘曲形变,实现对芯片偏移的有效控制,避免了塑封工艺后因晶圆翘曲过大,而无法进行后续的重布线层工艺的情况。
技术关键词
封装方法
光敏材料
塑封结构
芯片安装结构
胶膜
芯片封装结构
凹槽
光刻技术
环氧塑封料
塑封工艺
标记
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