MEMS麦克风及电子设备

本发明涉及麦克风技术领域，尤其涉及一种MEMS麦克风及电子设备。该MEMS麦克风包括第一基板、第二基板、不透气防水膜、拾音MEMS芯片、均压件及压阻MEMS芯片，其中第一基板上设有用于接收外界声音信号的进声孔，不透气防水膜盖设于进声孔，不透气防水膜盖设于进声孔，第二基板盖设于第一基板并与第一基板围出声腔，第二基板设有均压孔和第一气压孔，拾音MEMS芯片连接第一基板并与声孔相对设置，压阻MEMS芯片封闭第一气压孔，均压件遮挡均压孔，均压件具有关闭状态和打开状态，用于调节声腔的气压。根据本发明的MEMS麦克风，不透气防水膜提供更为可靠的防水保护，同时，通过控制均压孔的开合来调整内外压力，防止了由于压力不平衡导致的不透气防水膜破裂。