超细缺陷自动检测模块及方法和不良自动检查系统及方法

提供超薄型玻璃的Pt衍生超细缺陷自动检测模块及方法和利用其的超薄型玻璃的外观不良自动检查系统及方法。外观不良自动检查系统包括：边缘检查模块，在以单元单位物理切断超薄型玻璃时检查剥落或楔形缺陷；表面检查模块，检查超薄型玻璃表面区域的划痕、裂痕或异物；相位测量光线偏转检查模块，通过相位变化测量检查超薄型玻璃表面区域的污渍或凹陷；和Pt衍生超细缺陷检查模块，检查在超薄型玻璃母基板的生产过程产生的Pt衍生超细缺陷。Pt衍生超细缺陷检查模块包括：全息复原装置；扫描装置，将全息复原装置移动到预定扫描路径；和超细缺陷判断装置，通过利用从全息复原装置得到的图像的固有摩尔图案的机器学习算法判断Pt衍生超细缺陷。