基于玻璃基板的三维异构集成封装方法及系统

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基于玻璃基板的三维异构集成封装方法及系统
申请号:CN202511069519
申请日期:2025-07-31
公开号:CN121034959A
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本发明涉及玻璃基板集成封装技术领域,一种基于玻璃基板的三维异构集成封装方法及系统,包括:确认出目标玻璃基板,璃基板进行通孔,得到通孔玻璃基板,取种子层玻璃基板,获取合格抛光基板,制备玻璃中介层,获取最优散热键合结构,获取混合键合层芯片,对混合键合层芯片及最优散热键合结构进行图案对准,得到对准结构,获取封装材料及封装层掩模版图,构建封装层结构基板,填充封装层结构基板进行封装层固化,得到固化封装层结构基板,获取封装玻璃基板,对封装玻璃基板进行电学性能评分,得到电学性能综合评分,基于电学性能综合评分获取三维异构集成封装基板。本发明可提高基板的功能密度和系统性能。
技术关键词
封装层结构 集成封装方法 封装玻璃基板 键合结构 抛光 芯片 种子层 中介层 沉积硅 气体沉积设备 集成封装基板 掩模版图 异构 溅射基板 薄片 对准结构 平滑度 蚀刻玻璃基板
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