摘要
本发明涉及玻璃基板集成封装技术领域,一种基于玻璃基板的三维异构集成封装方法及系统,包括:确认出目标玻璃基板,璃基板进行通孔,得到通孔玻璃基板,取种子层玻璃基板,获取合格抛光基板,制备玻璃中介层,获取最优散热键合结构,获取混合键合层芯片,对混合键合层芯片及最优散热键合结构进行图案对准,得到对准结构,获取封装材料及封装层掩模版图,构建封装层结构基板,填充封装层结构基板进行封装层固化,得到固化封装层结构基板,获取封装玻璃基板,对封装玻璃基板进行电学性能评分,得到电学性能综合评分,基于电学性能综合评分获取三维异构集成封装基板。本发明可提高基板的功能密度和系统性能。
技术关键词
封装层结构
集成封装方法
封装玻璃基板
键合结构
抛光
芯片
种子层
中介层
沉积硅
气体沉积设备
集成封装基板
掩模版图
异构
溅射基板
薄片
对准结构
平滑度
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