一种光学元件的一体化加工检测设备和方法

本申请涉及半导体领域，公开了一种光学元件的一体化加工检测设备和方法，设备包括：机械臂，用于在检测装置和加工装置之间转移待检光学元件；所述检测装置，用于检测所述待检光学元件的面形；控制装置，与所述机械臂、所述检测装置和所述加工装置分别连接，用于调整所述机械臂和所述检测装置的位置，并当所述面形不符合预设面形条件时，生成加工参数信息；所述加工装置，用于根据所述加工参数信息加工所述待检光学元件，所述机械臂、所述检测装置、所述控制装置和所述加工装置均集成在工件台上，所述机械臂的位置固定。本申请可以实现检测和加工一体化和自动化，具有加工效率高、省时省力的特点。