一种基于暗场数字全息显微镜的套刻误差测量系统和方法

本发明公开了一种基于暗场数字全息显微镜的套刻误差测量系统和方法，光源；用于在特定波长范围内精确调节光源的滤波器；用于改变光束的方向的反射镜；用于将发散的光束转换为平行光束准直透镜；用与分开光束的分光棱镜；用于将光束耦合到成像系统的偏振维持单模光纤；用于收集样品上散射和衍射的光束的单平面非球面透镜；还包括：用于捕获参考光束和照明光束干涉形成的数字全息图的CMOS传感器；用于信号处理和套刻误差计算的计算机控制和处理系统；从CMOS传感器捕获的数字全息图中提取相位信息，进而计算出样品不同层间的相对位置偏差，即套刻误差；该系统实现了对半导体制造中套刻误差的高精度测量。