摘要
本发明公开一种电性参数修调精度更高的熔丝烧熔方法。包括如下步骤:(10)电性参数初值获取:测量得到每个芯片待修调电性参数初值;(20)步进烧熔:根据芯片电性参数初值与期望值的差异,选设计值熔丝,步进烧熔;(30)电性参数修后值测量:测量每个芯片每段熔丝修调后的电性参数修后值;(40)每段熔丝实际值计算:根据电性参数修后值与电性参数初值,计算得到熔丝实际值;(50)芯片批数量判断:当芯片数量小于等于测量批个数时,转至(10)步骤;(60)熔丝设计值更新:将多个芯片修调得到的熔丝实际值取平均值,得到新熔丝设计值;芯片数量归零,转至(20)步骤。
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