惯性传感器用混合集成光学芯片

本申请公开了一种惯性传感器用混合集成光学芯片，包括第一芯片，包括SiO2基底以及集成在SiO2基底上的激光器、探测器和耦合器，激光器和探测器分别与耦合器的一个传输波导区域连接，其余传输波导区域延伸至第一端形成波导直耦点；第二芯片，包括LiNbO3基底以及集成在LiNbO3基底上的多个相位调制器，每一相位调制器的一端与一波导直耦点连接，另一端延伸至第三端形成光纤直耦点。本申请将LiNbO3材料仅用于相位调制器，而将耦合器功能用价格相对低廉的SiO2方案来实现，具有价格低廉的技术优势，实现了光源、探测器、耦合器以及相位调制器四个器件的全集成，大为降低目前光纤陀螺的尺寸，提升可靠性和环境适应性。