一种欠采样条件下基于相位差法的相位测量方法

本发明提供一种欠采样条件下的相位测量方法，包括：将光源、待测光学系统和图像探测器依次排布，利用图像探测器和使得待测光学系统的光斑相对于图像探测器亚像素平移的装置来采集并存储待测光学系统的焦面位置和离焦位置的亚像素平移图像和位置数据；对焦面位置和离焦位置的亚像素平移图像进行高分辨率图像重构，得到焦面位置和离焦位置的高分辨率图像；对焦面位置和离焦位置的高分辨率图像进行待测波前误差的迭代计算，得到待测波前的泽尼克系数。本发明整个探测光路采用使得待测光学系统的光斑相对于图像探测器亚像素平移的装置，因此装置结果简单，易实现，能对探测器采集的欠采样图像进行高分辨率重构，以用于对光学系统的性能进行分析。