光栅尺的加工方法、装置及系统

本申请公开了一种光栅尺的加工方法、装置及系统，属于光栅尺制造技术领域。所述方法包括：获取激光器的焦点信息；基于预设的打点重叠率和所述焦点信息，确定焦点信息对应的基准刻线；基于目标刻线区域的宽度、预设的第一间距和基准刻线的宽度，利用预设的第一算法，获得目标刻线区域对应的基准刻线的数目；基于所述目标刻线区域的中心线和数目的基准刻线，利用预设的第二算法，对目标刻线区域进行拼接处理，以获得目标刻线区域的刻蚀路径，基于目标刻线区域的刻蚀路径，生成光栅尺的目标刻蚀信息；基于光栅尺的目标刻蚀信息，控制光栅尺的加工，以获得目标光栅尺。本申请可以改善刻线的边缘形貌，提高刻线的尺寸精度。