半导体存储器装置

一种半导体存储器装置包括虚设层叠结构、绝缘芯片保护图案以及导电芯片保护图案，绝缘芯片保护图案穿透虚设层叠结构的下部，并且导电芯片保护图案在绝缘芯片保护图案上方与绝缘芯片保护图案对齐并且穿透虚设层叠结构的上部。