基于原子级精度制造的化学气相沉积自动化分析系统

本发明涉及材料分析技术领域，具体涉及基于原子级精度制造的化学气相沉积自动化分析系统，包括工艺控制模块、工艺优化模块、优化修订模块、指令发送模块、质量监测模块、数据存储模块以及用户界面模块，其中；所述工艺控制模块，用于根据控制指令设定和调整化学气相沉积过程中的工艺参数；所述工艺优化模块，用于对采集到的工艺数据进行实时分析，生成第一工艺优化建议；所述优化修订模块，对沉积材料的物理和化学特性进行分析，得到修订后的第二工艺优化建议。本发明，利用高斯过程模型量化不确定性，高效搜索最优工艺参数组合，通过这一创新，显著提高了工艺优化的效率和精度。