一种微转动载台及芯片巨量转移设备

本发明公开一种微转动载台及芯片巨量转移设备，涉及半导体制造的技术领域，用于应用于半导体加工设备，该微转动载台包括溜板以及载台本体，直线电机通过其定子固定安装于溜板，直线电机的动子与载台本体连接，直线电机可通过其动子驱动载台本体绕轴承的转动轴线往复转动。该微转动载台采用直线电机作为载台本体在溜板上转动的驱动机构，在轴承的约束下，直线电机作用于载台本体的直线驱动力能够被转化为驱动载台本体沿圆周方向转动的作用力，从而根据直线电机在一直线上沿两个相对方向的驱动，精确地控制载台本体在溜板上作小角度的转动调节，其调节过程稳定，可靠性高。